静电吸附：主要用于对颗粒污染控制要求极高（如光刻）或需要背面无接触（如某些薄膜工艺、检测）的场合。 功能：在某些特定应用（如探针台、某些类型的等离子体工艺）中，Chuck可能还需要提供与晶圆背面的电学连接。… ...